半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
好项目的背景
该领域园密集了十余家半导体技术涉及公司,设计构思日工作效果5000吨,需用工作源自各种不同公司的交织污水。仍然各公司的生产流程距离大,污水组成很复杂善变,工作难易度较高。
生活污水材质及来源地
废污水其主要比如3大类:高酸度巧妙会废污水(光刻胶、成像液等)、含氟废污水(刻蚀工作)和酸碱度废污水(难以清理工作)。特殊化材料比如异丙醇、四甲基氢硫化铵等难降解塑料巧妙会物,以其氟化物、化学需氧量等硅酸生态破坏物。废污水COD动荡大(500-3000mg/L),氟化物酸度100-500mg/L,化学需氧量50-150mg/L。
治理施工工艺程序
用到"分类别分类整理+分质净化处置+分散程度净化处置"的自主创新形式:
工厂內部等级分类预补救:含氟污水单一搜集并预补救
开发区供水管道类型输送机软件
综合评估调试池营养均衡水质检测
有级水泥混凝土悠长岁月中删去飘浮物和悬浊液
高效率微生物体现器(HBR)解决有机质水大气污染物
嗅氧催化反应物氧化物溶解难进行分解无机物
反构建系统化确定脱盐清理
紫外光线线紫外光线消毒确保安全性喷水安全性
尤其設置了线上监测器模式和重新投加模式,对待土质价格波动。
决定性体验
控制系统电脑运行五年期来,正确处理功能增强准确。出水出水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,达标地下水监测Ⅳ类条件,部件循环于科技项目绿化养护及制冷塔保湿,循环率超过了30%。每一年变少新鲜的水安全使用约100万吨,为科技项目制造业企业增加电费千余万是。