半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
項目游戏 背景
该半导体行业工业企业靠近珠三角地区型区县,重点出产8寸大和12寸大晶圆,日尾气废气废蓄水量约2000吨。主要是因为出产方式 多样化,废硫酸铜溶液所含多样难溶解生产物和巨资属阴阳离子,常用处里方式 仍未满足需要愈发严要求的尾气废气标准化。
化工废水组分及从何而来
废气最主要的来源地于几个原则:晶圆水刀切废气包富含不少硅粉和水刀切液无残留;生物厂家打磨废气食含电解质溶液硅和抛光颗粒肥料;刻蚀除污废气包富含氟化物、铜阳离子等巨资属;光刻生产技术废气则包富含光阻剂等生物碳废弃物物。水质检测基本特征是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶液浓度高(200-400mg/L)、浮动物多且包富含微量分析巨资属。
处理加工过程标准流程
主要包括"物理化学预进行治理 +生化学进行治理 +厚度进行治理 "的组合起来生产工艺:
调低池动态平衡土质储水量
沥青混凝土滤渣祛除飘浮物和固体有机物
化工沉垫法专业书籍加工氟化物,添加钙盐建立氟化钙沉垫
淀粉水解酸性反应池升高废气可血生化性
触及阳极氧化池生物降解充分的空气污染物
亲水性炭吸附性塔采取程度正确处理
膜分离处理操作系统保证出液水源安全
针对于含铜废液同时布置阴离子交換软件,收旧有作用的金属质铜。
终结目的
项目流程俊工后运营稳定性,水流COD<50mg/L,氟化物酸度<5mg/L,铜亚铁离子酸度<0.3mg/L,各种指数均不同于国度《光学工业品水破坏物相关进行废气标准的标准的》(GB 39731-2020)。次年可抑制COD相关进行废气标准的约300吨,氟化物相关进行废气标准的约50吨,回收公司铜合金约2吨,体现了学习环境效果与经济实惠效果的共利。