半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体技术高端品牌公测智能化涉重废渣——MVR强制性嵌套循环零排项目流程
产品经验
半导一个测封工程业务,占比150万立方/天,是首届半导测封服务设施涉重废鑫霖环保零排工程业务。测封阶段的镀镍、镀铜、引线框架结构的清洗会生成含镍含铜废鑫霖环保,园区规划需要"无尾水外排",产水所有的使用于产线。
水源的特征与薄弱环节
污废水 以含镍来源于(渗透压10–100毫克/升),伴氢化物发生器铜、锌,pH价格波动大(2–12),和光刻胶无残留的小量设计物。测封厂基地紧,规定要求清理体系拆迁赔偿小;零排意示着浓水难以建筑垃圾清运太满,须得原生蒸馏沉淀反馈控制。
正确处理工学院艺规划
整体化走"分质汇集 → 预治疗除杂 → 生物滤渣除镍 → 吸附 → UF+二级RO → MVR被迫间歇蒸发器 → 冷疑水回收利用":
含镍线先调pH到10–11,添加氢防钝化钠导出Ni(OH)₂奠定,后加塑炼橡胶钠深层次收集残存镍(塑炼橡胶镍Ksp比氢防钝化镍更小,把镍压到0.1毫克/升如下);
积淀有水出经多物料滤出+保卫滤出后进UF,再进七级RO,产水随时回产线擦洗;
RO浓水(含盐+多余天价属)进MVR二次循坏化掉器,二次循坏能扛高含盐水垢,化掉器自带的在线视频除垢,很容易堵;
MVR冷却水水回去工业废水处理地下室集水井,挥发残液委外填埋或用作危险废弃物治理,全部整个工业园区无气态外排。
核心机 优点和缺点代表
MVR直接巡环相对各种类型降膜汽化,巡环流动速度高、制热面不能结镍盐/碳酸盐垢,适于首测此种"出水量很小但土质杂"的场合;混合式化撬装制作拆迁赔偿比传统文化汽化塘+多效汽化设计方案小60%不低于;刺鼻味道侧配合海洋生物滤池,把调控池和污泥处理间的刺鼻味道自身后化学降解成CO₂和水,防止出现首测厂紧临企业办公室的刺鼻味道投拆。
除理感觉与成效
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远高于《化学镀污染源物摆放规格》表三;任何150立方米/天产水中水回用于测封产线的清洗,替换等量丰富水;垃圾(蒸发掉残液+污泥干化)量比中国传统"沉淀出的+摆放"模式英文减约70%。对富士康侧,测封投资项目环保节能运营卡点遭打通;