某半导体集成块集成块制作厂在晶圆粗加工流程中，便用硅烷确定硅外延性种植，排放清洗塔引起高溶液浓度含硅生产污废水 。生产污废水 拥有pH冲击大（2-11）、硅含碳量高的作用，常用正确处理工艺易显示硅垢淤塞毛病。 废气基本成分及种类 化工废水首要的成分为： 充分均匀溶解性硅酸盐 ：SiO₂氧化还原电位达1000-1500mg/L 氢腐蚀钾/氢腐蚀钠 ：清洗塔酸碱平衡清洗液残余的 颗粒状硅 ：奈米级SiO₂悬浊液 痕量砷 ：物料残渣融入 处理工艺设备流程步骤 去创新运用"两极结合+膜活性炭过滤+汽化沉淀"的工艺： 二级采和 ：用CaO自动调节pH至4-5，制成硅酸钙滤渣，硅的还原率60%。 二级考试中合 ：加Na₂CO₃将pH加强至9，进一次石雕文化沉淀多余硅，串连用镁剂除砷。 超滤膜操作系统 ：0.02μm工业陶瓷膜滤出微米级硅颗粒状，通量保持稳定在80LMH。 MVR冷疑器器 ：精浓高盐工业废水，析出出Na₂SO₄副產品，水回收率超90%。 既定功效 总硅从1500mg/L降为5mg/L之下 砷含磷量从0.8mg/L降为0.01mg/L 程序无水垢进行小于2年 第一年的回收利用盐酸钠结晶体约800吨