该厂为85英寸晶圆的多个服务设施的超超纯水体系,每顿饭引发含硅化工废水150吨。化工废水面虽无天价属,但硅含量高易水垢,且阻值率需符合18MΩ·cm就可以回收利用。本身操作艺不可能满足了新公布的《光电子工業水被废弃物尾气排放出标准的》(GB39731-2020)尤为尾气排放出标准值。
工业废水的成分特征
大部分破坏物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、粉末硅(比表面积0.1-1μm)
特别的规范要求
:TOC<10μg/L,硼水平<5μg/L
水质标准特征
:低导电率(<50μS/cm)但硅无机化合物结构简化
正确处理方法方法
改革创新用"梯级膜破乳+电去铁离子"女子组合施工工艺:
微滤预治理
:1μm陶瓷图片膜电话拦截大小粒硅,通量维护80LMH
阴离子互转硅胶粘合剂
:D201大孔聚酯树脂选定 性吸咐硅酸分子结构
2级RO系統
:1、段二手回成品率60%,第二个段适用高脱硼膜器件
EDI电去阴阳离子
:直流电比热容2A/m²,持续不断剔除稳定度阳离子
紫外线除菌
:254nm紫外光线使用量40mJ/cm²
技术设备成效
開發专业化阻硅剂(有机酸胺类混合物),减慢膜污染源时间段3倍
EDI电源模块的创新流道设定,硅出掉率的提升至99.8%
上线硅深入分析仪器(估测面积0.1-500μg/L)确保精准扶贫操作
加载成果
经第几方面方检查:
总硅从280mg/L下降0.05mg/L
硼量从8μg/L减至0.3μg/L
系统化收购 率从原40%优化至68%
膜变更的周期不断增加至5年,年启用人工成本变低35%