该的例子来于豫东东南部的一家超大半导体设备制造技术公司,主耍制作集成型电路系统集成块。在制作阶段中,晶圆清洁工作、蚀刻等环节需采用海量电子元器件级磷酸(纯净度≥85%),据此生产高溶液浓度含磷废污水。公司本身处里公共设施不可能做到也日益严格的的排出规范(TP≤0.5mg/L),急要升极更新改造。
污水化学成分及收入
化工污水处理核心来原于三种各个环节:晶圆清洁化工污水处理(占总供水量60%)、设备清洗阴道化工污水处理(30%)及及室内地面清洗阴道化工污水处理(10%)。水质量优点表面为:pH值1.5-2.5,总磷溶液浓度800-1200mg/L,氟铁离子含磷量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并带有轻微高价属(铜、锌等)。
进行处理加工生产工艺流程图
顶目适用"预治疗+化学物质水解+高等 钝化+高度滤水"的三人组合加工过程:
自动调节池
:匀衡水源需水量,具有pH网络污染监测程序
二级发应池
:污泥脱水氧化钙乳调试pH至8.5-9.0,导致Ca3(PO4)2沉垫
二次元的反应池
:调用PAC和PAM升星水解酸化池成效
斜板沉淀自己池
:变现固液破乳,生活污水开始脱水现象机系统
Fenton钝化单无
:H2O2与Fe²⁺协作效用光降解生物碳物
多媒介过滤装置器
:石英石砂+化学活化炭搭配过虑,抓好出液澄澈
铁离子传递程序
:更加骤快速清理稳定度铝合金阳离子
以后功能
软件系统自动运转平衡后,喷水水质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阴阳离子≤5mg/L,贴心的售后服务的指标远低于《电子设备制造业水被污染源直接直接排放规格》(GB 39731-2020)。常年削减磷直接直接排放约15吨,厌氧颗粒污泥存在量较传统式的工艺降底40%,自动运转代价有效控制在8.3元/吨水。