该晶圆研制厂坐落华北各地,注意分娩8英尺半导体器件晶圆,单日化工废水污染物量约800吨。原因分娩全过程中运行广泛氢佛酸开始晶圆蚀刻,以至于化工废池中氟化物氧化还原电位可以达到200-300mg/L,远超国家污染物原则(10mg/L下)。
工业废水成份及因素
工业废水具体源于5个部分:
晶圆蚀刻工艺程序
:含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及多量巨资属
生物学机诫打蜡 (CMP)化工废水
:含微米级硅颗粒肥料、生产络合剂
机械清洁污废水
:含异丙醇、化学需氧量等充分物
整理的生产流程图步骤
进行"化学反应沉垫+混凝土沉垫+强度筛选"三级考试办理操作系统:
4级解决
:加药氯化钙和氢钝化钙,构成氟化钙析出,氟化物取除率达85%
2级工作
:增多PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),消除悬浊液态破坏物
二级处里
:能够多有机溶剂滤过器和特异性炭吸收,水流氟化物浓度值增强在8mg/L下面的
关键性机 比如:pH自动式调高系统软件、斜管放置池、板框隔膜压滤机(污泥干化脱水怎么办)。
最后体验
该项目开机运行五年监测技术数据分析彰显:
氟化物总值密度:7.2mg/L(降至国内规范标准)
COD删去率:92%
活性污泥水分含量率:≤65%
年收售氟化钙副货品约150吨,满足资源量化凭借