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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆研制厂坐落华北各地,注意分娩8英尺半导体器件晶圆,单日化工废水污染物量约800吨。原因分娩全过程中运行广泛氢佛酸开始晶圆蚀刻,以至于化工废池中氟化物氧化还原电位可以达到200-300mg/L,远超国家污染物原则(10mg/L下)。 工业废水成份及因素 工业废水具体源于5个部分: 晶圆蚀刻工艺程序 :含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及多量巨资属 生物学机诫打蜡 (CMP)化工废水 :含微米级硅颗粒肥料、生产络合剂 机械清洁污废水 :含异丙醇、化学需氧量等充分物 整理的生产流程图步骤 进行"化学反应沉垫+混凝土沉垫+强度筛选"三级考试办理操作系统: 4级解决 :加药氯化钙和氢钝化钙,构成氟化钙析出,氟化物取除率达85% 2级工作 :增多PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),消除悬浊液态破坏物 二级处里 :能够多有机溶剂滤过器和特异性炭吸收,水流氟化物浓度值增强在8mg/L下面的 关键性机 比如:pH自动式调高系统软件、斜管放置池、板框隔膜压滤机(污泥干化脱水怎么办)。 最后体验 该项目开机运行五年监测技术数据分析彰显: 氟化物总值密度:7.2mg/L(降至国内规范标准) COD删去率:92% 活性污泥水分含量率:≤65% 年收售氟化钙副货品约150吨,满足资源量化凭借

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