活动蓝本
此项目地属华北的地方两家著名半导体材料创造机构,主耍种植84寸大和124寸大晶圆。伴随产能完善,磨细繁琐流程呈现的废排水量从原来的200吨/日添加到350吨/日,以往除理措施已时未考虑供需,且冒水生活饮用水不平衡,急需修建和改革化工废水除理系统软件。
废水处理方法营养成分及源头
该的企业粉磨废污水核心来源有以下制作工序:
化学上的机碾磨(CMP)废水处理工艺:富含二腐蚀硅、腐蚀铝等碾磨粒子,粒度分布在0.1-1μm范围图
晶圆侧面磨研生产废水:带有硅粉、复合阴离子(铜、铝等)及少量出有机酸增加剂
薄片考虑电镀废水:其主要化学物质为炭化硅颗粒物和切开油保湿乳
焦化废水优点突出表现为:pH值起伏较大大(2-11)、自动隐藏物渗透压高(500-2000mg/L)、内含微量分析天价属和难生物降解有机质物,COD常常在200-500mg/L范围图。
治理注意事项注意事项
过程数次小试和中试,既定判定运用下面外理工学院艺:
控制池
:设有pH在线视频探测和软件自动投药软件,将废液pH平稳在6.5-7.5条件
水泥混凝土沉淀物
:加药系统聚合物氯化铝(PAC)和阴化合物型高密度聚乙烯酰胺(PAM),混合法响应后进入斜板析出池
溶气气浮
:用这部分出液式溶气气浮,进几步避开十分细小颗粒状和电解质溶液材料
多材质滤出
:采取熔融石英砂+可溶性炭二级过滤清洁,保证 冒水SS<10mg/L
膜治理体系
:涉及到反固化装置(UF)和反固化(RO)有级,RO浓水单独的解决
污泥治理治理
:石雕文化沉淀主气浮厌氧颗粒污泥经板框压滤后运输防范
重点工艺设计参数指标:沥青混凝土环节G值调整在60-80s⁻¹,发应精力15min;气浮离交柱比30%,等待精力20min;反加入膜通量60LMH,反加入收购率75%。
以后治疗效果
系统性启动平稳后,留水水质标准单位几乎完成《电子厂企业水影响物产生标准单位》(GB39731-2020)相当产生标准值让,一般目标详细:
SS<5mg/L(清理率>99%)
COD<30mg/L(洗去率>93%)
铜阴离子<0.3mg/L
留水工业废水处理率起到65%及以上
淤泥减药40% compared to原加工过程
本次目总投資约120070万,程序运行料工费约8.5元/吨水,几乎每年可变少生产废水排卸量六万多吨,环保再生资原回收水资原4万吨级,区域经济成效和区域成效特殊。