新项目历史背景
某中大型半导制做行业建在长四角地方,包括的制作晶圆和集成ic。在的制作流程中,晶圆打孔和打磨的时候引发更多打磨液化工废水,日访问量的排放标准量约50吨。致使化工废水下具有刺激性浓度高值浮悬物、金属材质铁离子及有机质加入剂,同时的排放标准会对区域环境产生特别严重造成的污染,行业急求投建职业进行处理装置。
电镀废水材质及收入
磨光液焦化废水大部分由来于晶圆生产制作中的化学物质机诫磨光(CMP)多种工序,大部分危害物包含:
浮悬粒子物
:二被氧化反应硅、被氧化反应铝等精磨颗粒剂,孔径在0.1-1μm,氨水浓度可高达2000mg/L。
金属材质化合物
:铜、铁、锌等,来自于抛光处理垫磨损情况及晶圆外面重金属层,铜阴阳离子含量约50mg/L。
有机化学使用剂
:包涵单单从表面活力剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸碱平衡性东西
:pH值下跌大,大多数在2-11左右。
鑫霖环保步骤步骤
重视废水工作工艺设计性能,分为“预工作+生物化+层次工作”组和工艺设计:
调高池
:均匀水污染用水量,添加图片耐酸碱调低pH至中性化。
水泥混凝土凝固
:污泥脱水PAC(整合氯化铝)和PAM(高分子聚乙烯酰胺),的还原悬浮按钮物和悬浊液,沉降后SS的还原率>90%。
崔化氧化物
:适用Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)生物降解有机肥料加剂,COD洗去率达60%。
怪物外理
:MBR膜生物制品现象器进1步可降解余量生物碳物,COD降低100mg/L之下。
化合物交換
:专门用聚酯树脂吸出铜阳离子,出液铜分子量<0.5mg/L。
砂滤+化学活化炭滤出
:确保有水出清亮,可达到《污水排放基准总合排放基准基准》(GB8978-1996)特级基准。
终究体验
系统化进行可靠后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜正离子<0.3mg/L。
造纸焦化废水处理率达40%,累计合格产生,年削减焦化废水产生1.7万吨。
除理价格约15元/吨,远达不到服务行业平均值。